ʮ���մɻ�����ό��������а�
�l(f��)��r�g��2023-09-20
ʮ���մɻ�����ό��������а���������Ŀǰ�Ј���һЩ��Ҋ���մɻ�����ϵČ����ʣ�W/mK���ĸߵ����M��������
1. �����裨SiN�� ��150-200
2. �����X��AlN�� ��150-200
3. ̼���裨SiC�� ��200-300
4. ����┣�BeO�� ��200-300
5. ����V��MgAlON�� ��150-200
6. �����X��AlO�� ��80-200
7. ������BN�� ��80-200
8. ̼���TiC�� ��180-350
9. ̼������ͺϲ��ϣ�SiC/SiC�� ��150-350
10. ̼��⁻��ͺϲ��ϣ�TiC/TiC�� ��180-350
���ϔ�(sh��)��(j��)�H�����������H��(sh��)ֵ������ͬ������������ˇ���䷽������������x���մɻ�����ϕr��������(j��)���H���È�����ʹ��Ҫ��C�Ͽ��]���ϵČ��������Լ������Cе��늚����ữ�W�ȷ��������ָ����
